今日分享KAKUHUNTER寫真化學(xué)反射式膜厚監(jiān)測儀

今日分享KAKUHUNTER寫真化學(xué)反射式膜厚監(jiān)測儀

反射式膜厚監(jiān)測儀是一種反射分光式膜厚計，采用小型反射探頭并采用光學(xué)干涉測量法，可應(yīng)用于從實驗室水平到生產(chǎn)過程中在線 檢查的所有情況。它具有出色的可維護性，可以集成到工藝設(shè)備中或用于生產(chǎn)線管理目的。

最多可同時測量 9 種透明薄膜。

它具有出色的可維護性，可以集成到工藝設(shè)備中或用于生產(chǎn)線管理目的。

例如，它可以用作成膜、拋光和蝕刻過程中的在線監(jiān)控器或終點監(jiān)控器（終點檢測傳感器），并可以實時監(jiān)控膜厚。它

還可用于評價多晶硅的結(jié)晶度和多孔薄膜的密度。

• 我想輕松測量透明多層薄膜每一層的厚度。

• 我想自動測量多個點的薄膜厚度。

• 我想以10μm以下的高分辨率研究膜厚分布。

• 我想測量半透明板的厚度。